根據(jù)科技日報報道,該項(xiàng)目研發(fā)由西安理工大學(xué)劉丁教授的團(tuán)隊(duì)領(lǐng)導(dǎo)。劉丁教授在半導(dǎo)體硅單晶生長領(lǐng)域精耕細(xì)作多年,先后主持承擔(dān)了多個國家科技重大專項(xiàng)、國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目等,近年來取得了技術(shù)突破,獲得了一批標(biāo)志性成果。
根據(jù)奕斯偉的介紹,硅單晶棒的制作首先需要將高純多晶硅放入石英坩堝,加熱至 1400℃以上,融化成硅溶液,再把籽晶浸入硅熔液,經(jīng)過引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩、等徑生長、收尾等步驟,完成一根單晶硅棒的拉制。在單晶硅棒產(chǎn)出后,將晶棒切割成 300~400 毫米長的硅塊,之后采用線切割得到厚度約 1 毫米的薄片,再對其進(jìn)行拋光、清洗加工,得到高品質(zhì)的拋光片。
據(jù)了解西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司是國內(nèi)大型單晶硅制造骨干企業(yè),2018 年起與西安理工大學(xué)劉丁教授的團(tuán)隊(duì)合作。該公司能夠制造無位錯、無原生缺陷、超平坦和優(yōu)良納米形貌的 12 英寸硅片,用于 28nm 以下集成電路芯片的制作。此外,公司還提供硅片加工、清洗及外延等服務(wù)。
目前,奕斯偉在西安擁有一座硅產(chǎn)業(yè)基地,分兩期進(jìn)行建設(shè),一期設(shè)計(jì)產(chǎn)能 50 萬片 / 月。本次大型單晶硅生長設(shè)備的成功制作,有利于滿足我國在集成電路發(fā)展的迫切需要,擺脫受制于人的情況。