
前ASML首席科學家林楠推動中國EUV最新突破
2025年4月29日,據(jù)南華早報報道稱,國內(nèi)研究團隊成功構(gòu)建一個以國際競爭參數(shù)運行的極紫外 (EUV) 光源平臺,突破了國產(chǎn)先進芯片的障礙。該團隊來自中國科學院上海光學精密機械研究所,由曾任荷蘭ASML公司光源技術(shù)負責人的林楠領(lǐng)導,這項成果...
2025年4月29日,據(jù)南華早報報道稱,國內(nèi)研究團隊成功構(gòu)建一個以國際競爭參數(shù)運行的極紫外 (EUV) 光源平臺,突破了國產(chǎn)先進芯片的障礙。該團隊來自中國科學院上海光學精密機械研究所,由曾任荷蘭ASML公司光源技術(shù)負責人的林楠領(lǐng)導,這項成果...