中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所超強激光科學(xué)與技術(shù)全國重點實驗室副主任林楠，圖片來自中國科學(xué)院大學(xué)
林楠團(tuán)隊并未沿用ASML使用二十年的二氧化碳激光技術(shù)體系，而是尋求固態(tài)激光器方案，實現(xiàn)了3.42%的轉(zhuǎn)換效率，已超越蘇黎世聯(lián)邦理工學(xué)院等西方頂尖機構(gòu)。林楠團(tuán)隊認(rèn)為，該平臺的理論最高效率可以達(dá)到6%，超過了一些商業(yè)基準(zhǔn)。
2021年，林楠的歸國被視為中國半導(dǎo)體人才戰(zhàn)略的關(guān)鍵落子。這位師從諾貝爾物理學(xué)獎得主Anne L’Huillier的頂尖專家，其技術(shù)路線選擇暗含深層考量——研發(fā)方向直指下一代高能效EUV系統(tǒng)，在可持續(xù)性和擴展性方面建立技術(shù)儲備。
目前，國內(nèi)面臨的最大挑戰(zhàn)依然是構(gòu)建完整的EUV光刻生態(tài)系統(tǒng)，也就是說中國要掌握從鏡面光學(xué)元件到光刻膠和平臺對準(zhǔn)系統(tǒng)的所有技術(shù)——而這些領(lǐng)域目前仍由ASML及其全球供應(yīng)商主導(dǎo)。雖然光源只是第一步，但這場半導(dǎo)體領(lǐng)域的”光源革命”，或許正在照亮中國芯的突圍之路。
