
前ASML首席科學(xué)家林楠推動中國EUV最新突破
2025年4月29日,據(jù)南華早報報道稱,國內(nèi)研究團隊成功構(gòu)建一個以國際競爭參數(shù)運行的極紫外 (EUV) 光源平臺,突破了國產(chǎn)先進芯片的障礙。該團隊來自中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所,由曾任荷蘭ASML公司光源技術(shù)負責(zé)人的林楠領(lǐng)導(dǎo),這項成果...
2025年4月29日,據(jù)南華早報報道稱,國內(nèi)研究團隊成功構(gòu)建一個以國際競爭參數(shù)運行的極紫外 (EUV) 光源平臺,突破了國產(chǎn)先進芯片的障礙。該團隊來自中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所,由曾任荷蘭ASML公司光源技術(shù)負責(zé)人的林楠領(lǐng)導(dǎo),這項成果...
在EUV光刻機方面,荷蘭ASML(阿斯麥)公司壟斷了目前的EUV光刻機,去年出貨26臺,創(chuàng)造了新紀(jì)錄。據(jù)報道,ASML公司正在研發(fā)新一代EUV光刻機,預(yù)計在2022年開始出貨。根據(jù)ASML之前的報告,去年他們出貨了26臺EUV光刻機,預(yù)計2...
作為國內(nèi)最大最先進的晶圓代工廠,中芯國際SMIC在疫情疫情期間依然沒有停產(chǎn),同時還在擴大14nm等先進工藝產(chǎn)能。日前羊城晚報報道稱,中芯國際進口的荷蘭ASML光刻機順利入廠。 據(jù)報道,這次購買光刻機的是中芯國際集成電路制造(深圳)有限公司,...